修理・オーバーホールの流れ

主な取扱機器
※記載されていない機器も対応しております。

＜CTI クライオポンプ・コンプレッサー・モジュール＞
【CTI】Cryopump 8/8F、On-Board/Module、8600/9600
＜ロボット・コントローラー・アライナー＞
【PRI】ATMシリーズ、PRE-200/300、Controller
【Brooks】MAG-7
＜DC/RF 電源＞
【ENI】DCGシリーズ
【AE】MDXシリーズ、PDP-2500、Pinnacleシリーズ
＜真空ゲージコントローラー＞
【Granville-Phillips】307/330/340/350/360/370
＜VAT ゲートバルブ＞
【VAT】12/64シリーズ
【SMC】XGTシリーズ
＜イオンゲージケーブル＞
【MKS】Vacuum Gauge Cable 25～50 feet