03-6912-2963

装置メンテナンス

半導体装置のことなら私たちにいつでもご相談ください。

特にPVD装置(マグネトロンスパッタ)は30年以上の経験と知識でメンテナンスを行なって参りました。トラブル解決やパーツ製作・供給、改良、今後の対策など親身にサポートいたします。

ECLIPSE Star/ Mark-Ⅱ/ Mark-Ⅳ(MRC)
半導体PVD装置
その他の半導体装置

パーツ設計・製作

図面がなくても現物から図面設計~製作まで受け付けています。

装置のオリジナルパーツは、メーカーによって価格が高かったり、納期が長いことがよくあります。弊社では良品、メーカーより安く、短納期でご提供できるよう親身にご対応しております。図面が無いから…とお困りの方も、現物があれば図面設計~パーツ製作まで行っておりますのでお気軽にご相談ください。

シールド
真空パーツ
装置オリジナルパーツ
各種ケーブル、基盤
主な製作可能な材料:セラミック、SUS、Al、インコネル テフロン、グラファイトなど

修理・オ―バーホール

定期的なオーバーホールを行うことで生産性を上げることができます。

メンテナンス・リサーチは、長年業界での実績と信頼のある各専門業者と連携して修理・オーバーホールを行なっております。特にメーカー取扱中止となった機器も対応しておりますのでご相談ください。

クライオポンプ/ コンプレッサー/ モジュール(CTI)
真空ゲージコントローラー(Granville-Phillips)
イオンゲージケーブル(MKS/弊社オリジナル)
ロボット/ コントローラー/ アライナー(PRI/Brooks)
DC / RF電源(ENI/MKS/AE/その他)
ゲートバルブ(VAT/SMC)

パーツ調達

ご要望の機器やパーツがありましたらいつでもご連絡ください。

「製造中止」「メーカーサービス終了」「後継機なし」という理由などで入手が困難となった機器やパーツを独自ネットワークを駆使して調達をお手伝いいたします。また、機種によりますがご希望があれば機器の状態テストを行うことも可能です。お気軽にご相談ください。

真空機器
ロボット機器
電源
装置オリジナルパーツ
ケーブル
イオンゲージチューブ
モジュール
コンプレッサー
ターボポンプ
クライオポンプパーツ
基盤